іонна імплантація

= іонне легування

ru\ \ [lang name="Russian"]ионная имплантация, ионное легирование

en\ \ [lang name="English"]ion implantation

de\ \ [lang name="German"]Ionenimplantation

fr\ \ \ [lang name="French"]implantation d'ions

бомбардування поверхні металу, напівпровідника чи діелектрика іонами металів і неметалів, що спричиняє зміни складу, структури і властивостей поверхні; глибина проникнення іонів у мішень тим більша, чим більша енергія іонів; іони з енергією ≈ 10—100 кэВ проникають на глибину 0,01—1 мкм